国产精品美女午夜爽爽爽免费,欧美大屁股喷潮水xxxx,国产欧美精品aaaaaa片,蜜桃人妻无码av天堂三区

0755-83318988
PRODUCTS CENTER

產品中心

晶圓形貌測量設備

產品簡介

WD4000晶圓形貌測量設備自動測量Wafer厚度、表面粗糙度、三維形貌、單層膜厚、多層膜厚。能實現Wafer厚度、翹曲度、平面度、線粗糙度、總體厚度變化(TTV)及分析反映表面質量的2D、3D參數。

產品型號:WD4000
更新時間:2024-07-02
廠商性質:生產廠家
訪問量:810
詳細介紹在線留言

WD4000晶圓形貌測量設備采用白光光譜共焦多傳感器和白光干涉顯微測量雙向掃描技術,完成非接觸式掃描并建立表面3D層析圖像,實現Wafer厚度、翹曲度、平面度、線粗糙度、總體厚度變化(TTV)及分析反映表面質量的2D、3D參數。廣泛應用于襯底制造、晶圓制造、及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、顯示面板、MEMS器件等超精密加工行業(yè)。

晶圓形貌測量設備

WD4000晶圓形貌測量設備自動測量Wafer厚度、表面粗糙度、三維形貌、單層膜厚、多層膜厚。

1、使用光譜共焦對射技術測量晶圓Thickness、TTV、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI等參數,同時生成Mapping圖;

2、采用白光干涉測量技術對Wafer表面進行非接觸式掃描同時建立表面3D層析圖像,顯示2D剖面圖和3D立體彩色視圖,高效分析表面形貌、粗糙度及相關3D參數;

3、基于白光干涉圖的光譜分析儀,通過數值七點相移算法計算,達到亞納米分辨率測量表面的局部高度,實現膜厚測量功能;

4、紅外傳感器發(fā)出的探測光在Wafer不同表面反射并形成干涉,由此計算出兩表面間的距離(即厚度),可適用于測量BondingWafer的多層厚度。該傳感器可用于測量不同材料的厚度,包括碳化硅、藍寶石、氮化鎵、硅等。

晶圓形貌測量設備

WD4000晶圓測量系統(tǒng)可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的厚度、粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據SEMI/ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。


測量功能

1、厚度測量模塊:厚度、TTV(總體厚度變化)、LTV、BOW、WARP、TIR、SORI、平面度、等;

2、顯微形貌測量模塊:粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、面積、體積等。

3、提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能。其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

4、提供幾何輪廓分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等;粗糙度分析包括國際標準ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數;結構分析包括孔洞體積和波谷。


應用場景

1、無圖晶圓厚度、翹曲度的測量

晶圓形貌測量設備

通過非接觸測量,將晶圓上下面的三維形貌進行重建,強大的測量分析軟件穩(wěn)定計算晶圓厚度、粗糙度、總體厚度變化(TTV),有效保護膜或圖案的晶片的完整性。


2、無圖晶圓粗糙度測量

晶圓形貌測量設備

Wafer減薄工序中粗磨和細磨后的硅片表面3D圖像,用表面粗糙度Sa數值大小及多次測量數值的穩(wěn)定性來反饋加工質量。在生產車間強噪聲環(huán)境中測量的減薄硅片,細磨硅片粗糙度集中在5nm附近,以25次測量數據計算重復性為0.046987nm,測量穩(wěn)定性良好。


部分技術規(guī)格

品牌CHOTEST中圖儀器
型號WD4000
厚度和翹曲度測量系統(tǒng)
可測材料砷化鎵 ;氮化鎵 ;磷化 鎵;鍺;磷化銦;鈮酸鋰;藍寶石;硅 ;碳化硅 ;玻璃等
測量范圍150μm~2000μm
掃描方式Fullmap面掃、米字、自由多點
測量參數厚度、TTV(總體厚度變 化)、LTV、BOW、WARP、平面度、線粗糙度
三維顯微形貌測量系統(tǒng)
測量原理白光干涉
干涉物鏡10X(2.5X、5X、20X、50X,可選多個)
可測樣品反射率0.05%~100
粗糙度RMS重復性0.005nm
測量參數顯微形貌 、線/面粗糙度、空間頻率等三大類300余種參數
膜厚測量系統(tǒng)
測量范圍90um(n= 1.5)
景深1200um
最小可測厚度0.4um
紅外干涉測量系統(tǒng)
光源SLED
測量范圍37-1850um
晶圓尺寸4"、6"、8"、12"
晶圓載臺防靜電鏤空真空吸盤載臺
X/Y/Z工作臺行程400mm/400mm/75mm


懇請注意:因市場發(fā)展和產品開發(fā)的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。



在線留言

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7

關注公眾號,了解最新動態(tài)

關注公眾號
0755-83318988

Copyright © 2025 深圳市中圖儀器股份有限公司版權所有

技術支持:化工儀器網    sitemap.xml

備案號:粵ICP備12000520號

欧洲精品99毛片免费高清观看| 日韩人妻一区二区三区免费| 国产三级在线观看完整版| 特黄特黄的欧美大片| 国产亚洲色婷婷久久99精品| 久久国产精品偷任你爽任你a | 久久精品国产亚洲AV香蕉高清| a片人人澡c片人人人妻| 精品无码国产一区二区三区51安| 亚洲精品无码成人av电影网 | 特级做a爱片毛片免费看| 欧美亚洲精品SUV| 人妻无码av天堂二区| 免费看曰批女人爽的视频| 久久精品国产亚洲av无码| 国产色情精品一区二区| 国产日产成人免费视频在线观看| 晚秋影院手机在线观看免费| 亚洲午夜久久久精品影院| 熟女少妇精品一区二区三区| 亚洲精品国产一区二区精华液| 欧美日激情日韩精品嗯| 中文字幕一区二区三区乱码| 精品久久久无码人妻字幂| 中文无码一区二区三区在线观看| a片免费视频在线观看| 中文字幕亚洲无线码在线一区 | 日韩精品中文字幕无码一区| 亚洲欧美日韩高清一区| 四虎国产成人永久精品免费| 国产亚洲精品久久久久久久| 国产精品va在线播放我和闺蜜| 亚洲欧美激情精品一区二区 | 亚洲国产精品特色大片观看完整版| 欧美成人精品A∨在线观看 | 欧美性猛交AAAA片黑人| 久久人人爽人人爽人人片| 粗大挺进朋友人妻身体里国产电影| 国自产拍偷拍精品啪啪一区二区| 出轨人妻被粗长征服过程| 国产99久久久国产精品免费|