中圖儀器SJ6000超高精度激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，在計量領(lǐng)域中可作為長度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具。在數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo)、影像儀、精密測量、自動化、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域中，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

動態(tài)測量軟件配合下，SJ6000激光干涉儀還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

產(chǎn)品功能

（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

SJ6000超高精度激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

激光干涉儀測量機(jī)床直角

如機(jī)器軸垂直度誤差測量（數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)等），SJ6000激光干涉儀垂直度測量是通過比較直線度值從而確定兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度，即在同一基準(zhǔn)上對兩個標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進(jìn)行比較，得出兩個軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測量時反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動直線度反射鏡。

測量機(jī)床垂直度

典型情況下對于1.5米長的機(jī)器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇，因為傳統(tǒng)的實物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。

部分技術(shù)規(guī)格

注意事項：

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

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