激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。
激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。
1、精度高
激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm 量級，細分后更可達到n m量級。
2、應(yīng)用范圍廣
激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外，配上適當(dāng)?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等。
3、環(huán)境適應(yīng)力強
即使光強衰減 90%，仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點，激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準器和坐標測量機，也可以在普通的車間內(nèi)為大型的機床的刻度進行標定。
4、實時動態(tài)測速高
現(xiàn)代的激光干涉儀測速普遍達到1 m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動態(tài)測量。
激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀最終擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中。
因此，對于激光干涉儀的研究有利于提高對該儀器的了解，以致于改進其性能，使其在計量方面有著更加廣泛的應(yīng)用，具有重大意義。
更新時間：2021-06-23
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當(dāng)前位置：
三坐標測量儀