可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

　　形貌儀該如何進(jìn)行日常的維護(hù)與保養(yǎng)呢？

　　首先：使用后要及時(shí)清理殘?jiān)Ｔ瓌t上，需要測(cè)量的樣本是不需要特殊處理的，但是部分測(cè)試材料，例如木頭、塑料甚至是人的皮膚、頭發(fā)等等，都可能在測(cè)試臺(tái)留下殘?jiān)?。因此，在使用過后一定要及時(shí)的清理，保證形貌儀的測(cè)試臺(tái)的整潔。

　　第二：測(cè)頭是形貌儀的眼睛，如果發(fā)生損害或磨損，不能簡(jiǎn)單的維修就可以了，一定要及時(shí)更換，防止下次測(cè)量數(shù)據(jù)的時(shí)候產(chǎn)生的誤差。失之毫厘謬以千里，一點(diǎn)小小的失誤就可能對(duì)個(gè)人乃至整個(gè)工程造成嚴(yán)重的后果。

　　第三：定期保養(yǎng)，調(diào)試精度。形貌儀之所以能迅速占領(lǐng)市場(chǎng)，根本原因就在于它的測(cè)量速度快、度高。定期對(duì)它進(jìn)行檢視，調(diào)試精度，不但能減少誤差，確保測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確，也有利于延長(zhǎng)其使用期限，能在有限的時(shí)間內(nèi)創(chuàng)造出無限的價(jià)值。